旋片真空泵長期使用后，會出現真空度下降、密封處漏油、真空泵轉動停滯、甚至發生“卡死”、油污染嚴重、真空泵腔生銹、旋片有大的撞擊聲、真空泵腔內落入硬物劃傷真空泵腔、造成真空泵過熱等異常現象，此時必須對真空泵進行拆洗。其步驟為，
1、切斷電源，將真空泵從真空系統上卸下，
2、用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來，以免污染環境;
3、卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級旋片真空泵包含皮帶);
4、先拆低真空端，取下后端蓋，再取出低真空轉子、旋片及彈簧等;
5、將前端蓋拆下，取出高真空轉子、旋片及彈簧等;
6、取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等;
7、將所拆下的金屬零件用汽油徹底清洗干凈，并用酒精脫水。橡膠零件可用15%的氫氟化鈉水溶掖煮沸去油。對有毛刺或生銹的零部件.可用油石或金相砂紙輕輕地研磨，以去除銹斑和毛刺。清洗后的零部件必須烘干;
8、裝配時，先裝后級，將彈簧、旋片托起裝入轉子內，然后放入真空泵腔.裝上前端蓋.再裝定位銷.均勻對稱地擰緊螺釘。裝配后.應保證轉動靈活、均勻。裝好前級轉子及后端蓋后，再裝排氣閥(排氣閥片應貼緊閥座)及其它件，如氣鎮裝置等。